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金剛石沉積技術(shù)應(yīng)用
概述
金剛石是自然界存在的特殊材料組之一,具有最高的硬度、低摩擦系數(shù)、高彈性模量、高熱導(dǎo)、高絕緣、寬能隙、高的聲傳播速率以及良好的化學(xué)穩(wěn)定性等,如表所示。金剛石薄膜(或金剛石涂層)將這些優(yōu)異的物理化學(xué)性能集一身,且成本較天然金剛石低,能夠制備各種幾何形狀,理論上對(duì)尺寸是沒(méi)有限制的,在電子、光學(xué)、機(jī)械等工業(yè)領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用前景,并可作為軍用項(xiàng)目和軍民兩用項(xiàng)目的開(kāi)發(fā)。
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